公开/公告号CN110366640B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-10-29
原文格式PDF
申请/专利权人 埃地沃兹日本有限公司;
申请/专利号CN201880015710.8
发明设计人 桦泽刚志;
申请日2018-03-02
分类号F04D19/04(20060101);F04C25/02(20060101);
代理机构72001 中国专利代理(香港)有限公司;
代理人朱美红;傅永霄
地址 日本千叶县
入库时间 2022-08-23 12:41:54
机译: 真空泵的排气系统,真空泵的排气系统所具备的真空泵,吹扫气体供给装置,温度传感器单元以及真空泵的排气方法
机译: 真空泵排气系统,要提供给真空泵排气系统的真空泵,吹气装置,温度传感器单元和真空泵排气方法
机译: 真空泵排气系统,要提供给真空泵排气系统的真空泵,吹气装置,温度传感器单元和真空泵排气方法