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基板处理装置、使用状况确认方法、以及不当使用防止方法

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能确认基板处理装置是否被不当使用，若有不当使用的事实时，能防止该不当使用。授权档案LF，是将授权资讯L予以加密的档案，授权资讯L包含对基板处理装置的特定使用者的使用条件。整合性确认程式P2，是确认以解密程式P1解密后的授权档案LF的内容，与从基板处理装置所得的装置资讯DI、网络资讯NI、及现在时刻CT的整合性，来确认有无不当使用的事实。若有不当使用时，根据整合性确认程式P2的资讯，由控制程式P3停止基板处理装置的动作，直到实施既定处置为止。

著录项

公开/公告号CN100490067C

专利类型发明授权
公开/公告日2009-05-20

原文格式PDF
申请/专利权人尼康股份有限公司;尼康制度股份有限公司;
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申请/专利号CN200580027056.5
发明设计人铃木博之;沖田晋一;山口正志;
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申请日2005-08-10
分类号
代理机构北京中原华和知识产权代理有限责任公司;
代理人寿宁
地址日本东京都
入库时间 2022-08-23 09:02:15

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2009-05-20

授权

授权
2007-10-10

实质审查的生效

实质审查的生效
2007-08-15

公开

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