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一种多晶体材料缺陷尺寸的超声测量方法

摘要

本发明公开了一种多晶体材料缺陷尺寸的超声测量方法,其包括以下步骤:S1、基于背散射响应模型,建立多晶体材料晶粒噪声的瑞利分布,以及晶粒噪声与缺陷回波之间的相干缺陷回波幅值的莱斯分布;S2、根据所述瑞利分布和莱斯分布,构建缺陷回波幅值的限界分布模型,并通过其逆累积分布计算置信上限和下限;S3、基于超声测量模型和C扫描实验测得的相干缺陷回波幅值,以步骤S2中得到的置信上限和下限,获取所述多晶体材料的缺陷尺寸的区间估计。本发明能够在低信噪比的环境下,对微小缺陷的尺寸进行有效的测量。

著录项

  • 公开/公告号CN113588794B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2021-12-17

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 中南大学;

    申请/专利号CN202111139539.1

  • 申请日2021-09-28

  • 分类号G01N29/04(20060101);G01N29/06(20060101);G01N29/44(20060101);G06F17/14(20060101);G06F30/20(20200101);

  • 代理机构43265 长沙伊柏专利代理事务所(普通合伙);

  • 代理人罗莎

  • 地址 410000 湖南省长沙市岳麓山左家垅

  • 入库时间 2022-08-23 12:57:53

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