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一种用于校验伽利略扩束器内透镜间距的方法及装置

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本发明公开了一种用于校验伽利略扩束器内透镜间距的方法及装置，包括：输入出射光束半径，所述出射光束半径为经伽利略扩束器后作用于对象表面的光束半径；根据校验规则计算得出透镜理论间距；调整透镜的实际间距，对比出射光束实际半径等于输入半径。本发明根据伽利略扩束器的工作原理进行校验，确定伽利略扩束器的工作状态，进一步的浮动调整透镜间距，使得光束经过伽利略扩束器能够以最优口径作用于打孔对象的表面。

著录项

公开/公告号CN111856764B

专利类型发明专利
公开/公告日2022-01-14

原文格式PDF
申请/专利权人江苏中烟工业有限责任公司;
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申请/专利号CN202010720077.1
发明设计人孙博文;李入作;杨世晗;陈亮;沈磊;吴晓雯;
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申请日2020-07-24
分类号G02B27/09(20060101);G02B27/00(20060101);A24D3/00(20200101);
代理机构33246 浙江千克知识产权代理有限公司;
代理人裴金华
地址 210019 江苏省南京市中山北路406-3号
入库时间 2022-08-23 13:00:47

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2022-01-14

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1. 一种用于校验伽利略扩束器内透镜间距的方法及装置 [P] . 中国专利： CN111856764B . 2022.01.14
2. 一种用于校验伽利略扩束器内透镜间距的方法及装置 [P] . 中国专利： CN111856764A . 2020-10-30
3. A process for the correction of the axial astigmatism of particle beam optical, in particular electron-optical, lenses with the use of an adjustable and manufacturing-favorable shift transformer and arrangement for carrying out the method [P] . 德国专利： DE1514588B2 . 1973-05-03

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