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具有悬浮膜并在锚边缘具有圆角的电容式压力传感器和其他器件

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摘要

一种半导体器件，包括集成电路和电容式压力传感器，该电容式压力传感器设置在集成电路之上并且与集成电路电连接。电容式压力传感器包括：第一电极；空腔，其位于第一电极之上；以及第二电极，其包括位于空腔之上的悬浮膜。第二电极还包括横向围绕空腔的导电锚槽。锚槽包括内锚槽和外锚槽，其中，外锚槽具有圆角。

公开/公告号CN111684252B

专利类型发明专利
公开/公告日2022-02-01

原文格式PDF
申请/专利权人希奥检测有限公司;
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申请/专利号CN201880074409.4
发明设计人威廉·弗雷德里克·阿德里亚努斯·贝斯林;卡斯·范德阿福尔特;瑞曼科·亨里克斯·威廉姆斯·皮内伯格;奥拉夫·文尼肯;耶格·西格特;亚历山大·费斯;
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申请日2018-11-16
分类号G01L9/00(20060101);G01L19/00(20060101);
代理机构11413 北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人罗小晨;刘继富
地址荷兰埃因霍温
入库时间 2022-08-23 13:03:46

1. 具有悬浮膜并在锚边缘具有圆角的电容式压力传感器和其他器件 [P] . 中国专利： CN111684252B . 2022.02.01
2. 具有悬浮膜并在锚边缘具有圆角的电容式压力传感器和其他器件 [P] . 中国专利： CN111684252A . 2020-09-18
3. Capacitive Pressure Sensors and Other Devices Having a Suspended Membrane and Having Rounded Corners at an Anchor Edge [P] . 美国专利： US2020348198A1 . 2020-11-05

机译：电容式压力传感器和其他具有悬浮膜且锚固边缘带有圆角的设备
4. CAPACITIVE PRESSURE SENSORS AND OTHER DEVICES HAVING A SUSPENDED MEMBRANE AND HAVING ROUNDED CORNERS AT AN ANCHOR EDGE [P] . 欧洲知识产权局专利： EP3682210A1 . 2020-07-22

机译：电容式压力传感器和其他设备的悬浮膜和锚定边缘的圆角
5. CAPACITIVE PRESSURE SENSORS AND OTHER DEVICES HAVING A SUSPENDED MEMBRANE AND HAVING ROUNDED CORNERS AT AN ANCHOR EDGE [P] . 世界知识产权组织专利： WO2019096995A1 . 2019-05-23

机译：电容式压力传感器和其他设备的悬浮膜和锚定边缘的圆角