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衍射光学元件的多层薄膜堆叠

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本申请涉及衍射光学元件的多层薄膜堆叠。光学元件可以包括衬底。光学元件可以包括形成在衬底上的用于特定波长范围的第一抗反射结构。光学元件可包括设置在第一抗反射结构的一部分上的至少一个层。光学元件可包括形成在该至少一个层上的用于该特定波长范围的第二抗反射结构。可以选择在第一抗反射结构的第一表面和第二抗反射结构的第二表面之间的深度、第一抗反射结构的第一折射率、第二抗反射结构的第二折射率和至少一层的第三折射率，以形成与特定波长的特定相位延迟相关联的衍射光学元件。

著录项

公开/公告号CN109407190B

专利类型发明专利
公开/公告日2022-02-01

原文格式PDF
申请/专利权人朗美通运营有限责任公司;
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申请/专利号CN201810926942.0
发明设计人约翰·迈克尔·米勒;斯蒂芬·拜格纳德;
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申请日2018-08-15
分类号G02B5/18(20060101);G02B1/115(20150101);
代理机构11262 北京安信方达知识产权代理有限公司;
代理人张瑞;杨明钊
地址美国加利福尼亚州
入库时间 2022-08-23 13:04:15

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