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将氧化钇化学转化为氟化钇及氟氧化钇以发展用于等离子体部件的预处理的抗腐蚀涂层

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本公开内容的实施方式提供了一种用于等离子体处理腔室装置中的腔室部件。所述腔室部件可以包括提供富氟表面的涂层。在一个实施方式中，用于等离子体处理装置中的腔室部件包括具有包含氧化钇的外层的主体，所述主体具有形成在其上的涂层，其中所述涂层包含含氟化钇的材料。

著录项

公开/公告号CN107946163B

专利类型发明专利
公开/公告日2022-03-01

原文格式PDF
申请/专利权人应用材料公司;
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申请/专利号CN201710947831.3
发明设计人麦特斯·I·拉尔森;尤吉塔·巴瑞克;王建齐;凯文·A·派克;
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申请日2017-10-12
分类号H01J37/32(20060101);
代理机构11006 北京律诚同业知识产权代理有限公司;
代理人徐金国;赵静
地址美国加利福尼亚州
入库时间 2022-08-23 13:11:43

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