公开/公告号CN110824100B
专利类型发明专利
公开/公告日2022-04-01
原文格式PDF
申请/专利权人 东亚DKK株式会社;
申请/专利号CN201910738552.5
发明设计人 岩本基;
申请日2019-08-12
分类号G01N31/16(20060101);G01N31/18(20060101);B08B9/032(20060101);
代理机构11270 北京派特恩知识产权代理有限公司;
代理人薛恒;王琳
地址 日本国东京都新宿区高田马场一丁目29番10号
入库时间 2022-08-23 13:22:56
机译: 气缸装置,压机装置,压脚装置,气缸装置的操作方法,压脚方法及压机方法
机译: 半导体装置检查方法,半导体装置制造方法以及检查装置