公开/公告号CN113978169B
专利类型发明专利
公开/公告日2022-04-26
原文格式PDF
申请/专利权人 中建四局建设发展有限公司;中国建筑第四工程局有限公司;
申请/专利号CN202111279179.5
申请日2021-10-31
分类号B44C5/00;B44C3/00;B44C3/08;B44C3/12;F16C11/06;F16C11/10;
代理机构厦门原创专利事务所(普通合伙);
代理人黄伟敏
地址 361000 福建省厦门市湖里区禾山街道枋湖北二路889号801单元
入库时间 2022-08-23 13:32:04
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-04-26
授权
发明专利权授予
机译: 加热设备,加热方法及基板处理设备
机译: 基板加热装置,基板处理系统及基板加热方法