公开/公告号CN111472635B
专利类型发明专利
公开/公告日2022-05-24
原文格式PDF
申请/专利权人 北京经纬恒润科技股份有限公司;
申请/专利号CN202010231980.1
发明设计人 汪宇佳;
申请日2020-03-27
分类号E05F15/40;G01L5/00;G01M17/007;H02P29/00;
代理机构北京集佳知识产权代理有限公司;
代理人王娇娇
地址 100020 北京市朝阳区酒仙桥路14号1幢4层
入库时间 2022-08-23 13:42:50
机译: 隐形特征检测装置,薄片识别装置,薄片处理装置,印刷检查装置以及隐形特征检测方法
机译: 气缸装置,压机装置,压脚装置,气缸装置的操作方法,压脚方法及压机方法
机译: 半导体装置检查方法,半导体装置制造方法以及检查装置