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柔性ZnO/NiO/ZnO多功能三极管及其制备方法

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摘要

本发明公开了一种柔性ZnO/NiO/ZnO多功能三极管，该结构为从上到下依次为发射极、基极、集电极、柔性导电衬底；所述的柔性导电衬底为柔性衬底上设有导电层；所述的发射极材料为ZnO，所述的基极材料为NiO，所述的集电材料为ZnO，所述的发射极、基极、集电极的一侧对齐，所述的发射极和柔性衬底的导电层上设有电极。本发明通过压电效应与半导体能带工程的耦合作用实现该晶体管在光电探测，力电传感以及纳米发电等多种功能化应用。

著录项

公开/公告号CN110838519B

专利类型发明专利
公开/公告日2022-07-19

原文格式PDF
申请/专利权人杭州电子科技大学;
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申请/专利号CN201910977844.4
发明设计人徐旻轩;李馨;金成超;何志伟;张骐;
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申请日2019-10-15
分类号H01L29/22;H01L29/24;H01L29/732;H01L21/34;H01L31/0296;H01L31/032;H01L31/11;H01L41/08;H01L41/113;H01L41/18;
代理机构杭州君度专利代理事务所(特殊普通合伙);
代理人杨舟涛
地址 310018 浙江省杭州市下沙高教园区2号大街
入库时间 2022-09-06 00:36:03

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