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一种基于周期性结构的人工表面等离激元的微流控检测芯片结构及其制备、检测方法

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本发明涉及一种基于周期性结构的人工表面等离激元的微流控检测芯片结构及其制备、检测方法，包括由下自上依次生长的衬底层、具有周期性孔状或锯齿状结构的人工表面等离激元金属层和微流通道层。本发明通过光刻、电子束蒸发蒸镀和剥离技术制作人工表面等离激元，采用键合工艺在其表面集成微流通道等微流控模块，利用人工表面等离激元测得的待检测液体指纹峰实现对分子样本种类的检测，具有实时、微量、平面检测、利于集成和可检测样品范围广等优势。

著录项

公开/公告号CN112934281B

专利类型发明专利
公开/公告日2022.11.08

原文格式PDF
申请/专利权人山东大学;
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申请/专利号CN202110298786.X
发明设计人张翼飞;凌昊天;宋爱民;王卿璞;
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申请日2021.03.20
分类号B01L3/00;G01N21/59;
代理机构济南金迪知识产权代理有限公司;
代理人杨树云
地址 250199 山东省济南市历城区山大南路27号
入库时间 2022-11-28 17:56:32

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法律状态
2022-11-08

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发明专利权授予

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