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利用光反射测量表面形貌的方法

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一种利用光反射测量表面形貌的方法，属摩擦磨损领域。本方法是将一束平行光以一初始入射角照射被测件表面，在被测件表面上方用CCD摄象头通过显微镜接收被测表面的反射光及散射光的光强。同时记录CCD摄象头中每一象素接收到的光强值及其入射角值；然后改变入射角，则CCD可接收到一最大光强值，记录每一点达到光强最大值时的入射角数值。即可按θ＝α/2的关系，求得该点的倾角θ值。(α为入射角)。再通过数值计算的方法即可求得各点的高度，将各高度点联接即可得到被测处的表面形貌。

著录项

公开/公告号CN1059032C

专利类型发明授权
公开/公告日2000-11-29

原文格式PDF
申请/专利权人清华大学;
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申请/专利号CN97104421.X
发明设计人温诗铸;黄平;蒋玮;雒建斌;邹茜;
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申请日1997-05-30
分类号G01B11/30;G01N21/88;
代理机构清华大学专利事务所;
代理人章瑞溥
地址 100084 北京市海淀区清华园
入库时间 2022-08-23 08:55:15

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2004-07-28

专利权的终止未缴年费专利权终止

专利权的终止未缴年费专利权终止
2000-11-29

授权

授权
1998-04-01

公开

公开
1998-03-11

实质审查请求的生效

实质审查请求的生效

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