公开/公告号CN100580499C
专利类型发明授权
公开/公告日2010-01-13
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院上海技术物理研究所;
申请/专利号CN200710170720.2
发明设计人 沈蓓军;
申请日2007-11-21
分类号G02B17/08(20060101);G02B5/10(20060101);G02B1/02(20060101);G02B13/18(20060101);
代理机构31213 上海新天专利代理有限公司;
代理人郭英
地址 200083 上海市玉田路500号
入库时间 2022-08-23 09:03:47
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2010-01-13
授权
授权
2008-08-13
实质审查的生效
实质审查的生效
2008-06-18
公开
公开
机译: 折反射式投影光学系统,投影光学系统和扫描曝光装置
机译: 折反射式投影光学系统,投影光学系统和扫描曝光装置
机译: 双波段紧凑型折反射成像光谱仪