公开/公告号CN112725801B
专利类型发明专利
公开/公告日2023.04.14
原文格式PDF
申请/专利权人 宝钢德盛不锈钢有限公司;
申请/专利号CN202110125477.2
申请日2021.01.29
分类号C23F1/28(2006.01);
代理机构福州鼎新知识产权代理有限公司 35263;福州鼎新知识产权代理有限公司 35263;
代理人程捷;杨慧娟
地址 350600 福建省福州市罗源县罗源湾开发区金港工业区
入库时间 2023-06-01 21:35:15
机译: 抗蚀剂组合物,形成抗蚀剂图案的方法,一种稀有化合物和一种能够通过将特定化合物中的稀有化合物作为酸发生剂加入来改善抗蚀剂图案的光刻特征的酸发生剂
机译: 新型鎓盐,用于抗蚀剂组合物的光致产酸剂,抗蚀剂组合物和构图工艺
机译: 鎓盐,用于抗蚀剂组合物的光致产酸剂,抗蚀剂组合物和图案化工艺