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多弧离子镀钛铝铬硅钇氮化物多组元超硬反应膜的制备方法

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摘要

一种多弧离子镀钛铝铬硅钇氮化物多组元超硬反应膜的制备方法，依次包括：1、沉积技术的确定及靶材成分的设计；2、合金靶的制备；3、工件试样的选择与前处理；4、电弧源数量的确定；5、沉积工艺的确定；6、过渡层的获得；7、真空加热处理；8、工件试样旋转。该方法确定了Ti-Al-Cr-Si-Y多元合金靶中Ti、Al、Cr、Si、Y等元素的成分变化范围，使制备的钛铝铬硅钇氮化物(TiAlCrSiY)N超硬膜具有附着力强(≥180N)、硬度高(≥HV3200)等特点。

著录项

  • 公开/公告号CN101230448B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2010-06-02

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 沈阳大学;

    申请/专利号CN200810010304.0

  • 发明设计人 张钧;王闯;郭文英;李丽;彭娜;

    申请日2008-01-31

  • 分类号C23C14/30(20060101);C23C14/14(20060101);C23C14/54(20060101);

  • 代理机构21109 沈阳东大专利代理有限公司;

  • 代理人戚羽

  • 地址 110044 辽宁省沈阳市大东区望花南街21号

  • 入库时间 2022-08-23 09:04:34

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2014-03-26

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 14/30 授权公告日:20100602 终止日期:20130131 申请日:20080131

    专利权的终止

  • 2010-06-02

    授权

    授权

  • 2008-09-24

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2008-07-30

    公开

    公开

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