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尖端曲率半径为微米或纳米级的热电偶及其制作方法

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尖端曲率半径为微米或纳米级的热电偶及其制作方法，涉及一种利用电化学法腐蚀和真空蒸镀技术，从而加工出尖端曲率半径在数十微米到数纳米范围的，对微小区域温度变化能够快速响应的微/纳米热电偶的制备方法。该热电偶为三部分构成，尖端曲率半径为微米级或纳米级的金属针尖(11)作为基底，其外包裹绝缘层(12)并裸露金属针尖(11)的尖端，在绝缘层(12)和裸露金属针尖(11)的尖端上设有一层金属薄膜(13)。

著录项

公开/公告号CN101493360B

专利类型发明专利
公开/公告日2010-10-27

原文格式PDF
申请/专利权人东南大学;
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申请/专利号CN200910028694.9
发明设计人顾宁;汪长岭;
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申请日2009-01-05
分类号G01K7/02(20060101);C23C14/24(20060101);C23C14/16(20060101);C25F3/02(20060101);
代理机构32200 南京经纬专利商标代理有限公司;
代理人叶连生
地址 210096 江苏省南京市四牌楼2号
入库时间 2022-08-23 09:05:21

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2015-02-25

未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01K 7/02 授权公告日:20101027 终止日期:20140105 申请日:20090105

专利权的终止
2010-10-27

授权

授权
2009-09-23

实质审查的生效

实质审查的生效
2009-07-29

公开

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