首页> 中国专利> 脉冲化学制剂分配系统和脉冲化学制剂分配方法

脉冲化学制剂分配系统和脉冲化学制剂分配方法

页面导航

摘要
著录项
法律信息
相似文献

摘要

本发明涉及节约成本的液体处理单元(100)。根据本发明，控制单元(152)，连接到控制阀门(118、120、122)的输入端，用于根据在衬底的给定或所需温度下和/或衬底的气态周围空气的给定或所需的压强下衬底上的处理液体的蒸发速率单个的分配脉冲的各个脉冲持续时间，以及在单个的分配的脉冲之间的各个分配中断的时间间隔，设定将应用到衬底用于液体处理分配脉冲的数量。如此，将处理液体的使用减小到最小数量，因此，减少了用于提供和清洁处理液体的成本。

著录项

公开/公告号CN101473413B

专利类型发明专利
公开/公告日2011-01-26

原文格式PDF
申请/专利权人 NXP股份有限公司;
展开▼

申请/专利号CN200780004144.2
发明设计人奥利维耶·杜甫瑞尔;斯丹·科尔迪克;西奥多·卡拉姆比丽斯;
展开▼

申请日2007-02-01
分类号
代理机构中科专利商标代理有限责任公司;
代理人朱进桂
地址荷兰艾恩德霍芬
入库时间 2022-08-23 09:06:08

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2015-04-01

未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/00 授权公告日:20110126 终止日期:20140201 申请日:20070201

专利权的终止
2011-01-26

授权

授权
2009-09-09

实质审查的生效

实质审查的生效
2009-08-26

专利申请权、专利权的转移(专利申请权的转移) 变更前: 变更后: 登记生效日:20090731 申请日:20070201

专利申请权、专利权的转移(专利申请权的转移)
2009-07-01

公开

公开

相似文献

专利
中文文献
外文文献

1. 脉冲化学制剂分配系统和脉冲化学制剂分配方法 [P] . 中国专利： CN101473413B . 2011.01.26
2. 用于供应化学制剂的锁定装置及具备此的化学制剂自动供应装置 [P] . 中国专利： CN113169100A . 2021-07-23
3. Agrochemical composition, liquid agrochemical formulation, method for production of the agrochemical formulation, and the use of agrochemical formulation liquid [P] . BR102016029703A2 . 2018-07-17

机译：农用化学组合物，液态农用化学制剂，农用化学制剂的生产方法以及农用化学制剂的用途
4. agrochemical formulation, method for producing an agrochemical formulation, agrochemical polymer dispersant, use of an agrochemical polymer dispersant and formulation [P] . BRPI1006658A2 . 2016-08-23

机译：农业化学制剂，生产农业化学制剂的方法，农业化学聚合物分散剂，农业化学聚合物分散剂的用途和制剂
5. Rechargeable electro-chemical power source charging method for hybrid vehicle, involves enabling current drain during impulse times of frequency impulses, and charging electro-chemical power source in intermediate impulse intervals [P] . 德国专利： DE102009003768A1 . 2010-10-14

机译：用于混合动力车辆的可充电电化学电源充电方法，涉及在频率脉冲的脉冲时间期间使电流消耗，并在中间脉冲间隔中对电化学电源充电