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使用悬臂结构的毫微数据写入和读取设备及其制造方法

摘要

一种使用悬臂结构的毫微数据写入和读取设备,包括通过构图在牺牲衬底上淀积的淀积材料而形成的悬臂,形成在悬臂的一个表面的前端部分并与悬臂同时形成的探针,当淀积材料被淀积在牺牲衬底上时,在牺牲衬底上形成的探针沟槽图形中填充该淀积材料,在悬臂处由多晶硅形成、用于加热探针的加热器,在悬臂处形成并感测介质上写入的数据的数据传感单元,连接到数据传感单元以及形成在悬臂处以提供与外部信号线的电连接的信号连接焊盘,连接到信号连接焊盘的信号传送电路单元,用于控制在介质上和从介质写入和读取数据,以及允许悬臂被支撑在信号传送电路单元处并提供用于信号连接焊盘和信号传送电路单元之间的电连接通道的键合单元。

著录项

  • 公开/公告号CN1967687B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2011-01-26

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 LG电子株式会社;

    申请/专利号CN200510126709.7

  • 发明设计人 金瑛植;南孝镇;

    申请日2005-11-17

  • 分类号G11B11/00(20060101);G11B11/26(20060101);G12B21/00(20060101);G01N13/10(20060101);G01B21/30(20060101);

  • 代理机构11219 中原信达知识产权代理有限责任公司;

  • 代理人樊卫民;杨本良

  • 地址 韩国首尔

  • 入库时间 2022-08-23 09:06:14

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2013-01-16

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G11B 11/00 授权公告日:20110126 终止日期:20111117 申请日:20051117

    专利权的终止

  • 2011-01-26

    授权

    授权

  • 2007-07-18

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2007-05-23

    公开

    公开

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