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用于测定加工头相对于具有结构的基板的相对位置的方法及设备

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摘要

本发明公开了一种方法及设备，其中，基板提供有具有以矩阵排列的结构元件的预制结构，其中，该矩阵沿X方向和Y方向延伸，其中，提供有加工头，其中，提供有与该加工头相连接并且包括沿主线设置的多个传感器的摄像机，其中，该摄像机扫描该基板，且由此提供至少一个一维摄像机信号，其中，为了实时测定该结构相对于该摄像机的至少X位置和Y位置，所述主线包括相对于X方向和相对于Y方向的角，其中，该角被选定为使得该摄像机信号包括空间分离的X位置信息和Y位置信息，并且使得该X位置信息和Y位置信息能够借助于信号处理过程而与该传感器信号区分开。

著录项

公开/公告号CN101258452B

专利类型发明专利
公开/公告日2011-05-18

原文格式PDF
申请/专利权人 OTB太阳能有限公司;
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申请/专利号CN200680032333.6
发明设计人科内利斯·彼得鲁斯·杜波;彼得·布赖尔;弗朗西斯库斯·科尔内留斯·丁斯;
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申请日2006-09-29
分类号
代理机构北京康信知识产权代理有限责任公司;
代理人章社杲
地址荷兰艾恩德霍芬
入库时间 2022-08-23 09:06:52

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2013-04-10

专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):G05B 19/401 变更前: 变更后: 申请日:20060929

专利权人的姓名或者名称、地址的变更
2011-05-18

授权

授权
2009-12-30

专利申请权、专利权的转移(专利申请权的转移) 变更前: 变更后: 登记生效日:20091127 申请日:20060929

专利申请权、专利权的转移(专利申请权的转移)
2008-10-29

实质审查的生效

实质审查的生效
2008-09-03

公开

公开

相似文献

专利
中文文献
外文文献

1. 用于测定加工头相对于具有结构的基板的相对位置的方法及设备 [P] . 中国专利： CN101258452B . 2011.05.18
2. 经构造用于将丝网装置相对于在太阳能电池的制造中使用的基板对准的设备、用于将材料沉积至在太阳能电池的制造中使用的基板上的系统及用于将丝网装置相对于在太阳能电池的制造中使用的基板对准的方法 [P] . 中国专利： CN108025546A . 2018-05-11
3. Method and apparatus for determining a relative position of a processing head with respect to a substrate with a structure [P] . 美国专利： US7692174B2 . 2010-04-06

机译：用于确定处理头相对于具有结构的基板的相对位置的方法和设备
4. Method and Apparatus for Determining a Relative Position of a Processing Head With Respect To a Substrate With a Structure [P] . 美国专利： US2009134347A1 . 2009-05-28

机译：用于确定处理头相对于具有结构的基板的相对位置的方法和设备
5. Method and apparatus for determining the relative position of the processing head relative to the substrate having a structure [P] . 日本专利： JP2009509746A . 2009-03-12

机译：用于确定处理头相对于具有结构的基板的相对位置的方法和设备