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衍射光学元件的光学特性测定方法及衍射光学元件的光学特性测定装置

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本发明公开了一种衍射光学元件的光学特性测定方法及其测定装置，通过检测出由摄像镜头即衍射光学元件会聚的任意波长范围的衍射光甚至是微弱的衍射光，而能容易且准确地评价点光的光量、衍射效率及光轴方向上的亮度分布。从白光光源(11)射出的光通过波长带通滤光器(12)后，用针孔狭缝(13)对光进行限制。该光通过准直透镜(14)成为平行光后，入射到摄像镜头即衍射光学元件(16)中。从该衍射光学元件射出的光在会聚成点光(17)后，被显微镜(18)放大并投影到CCD(19)上。用距离变更部件(56)改变该CCD和该衍射光学元件之间的距离后，用该CCD测定出光轴方向上的亮度分布。还测定出垂直于光轴的面内亮度分布。

著录项

公开/公告号CN101553721B

专利类型发明专利
公开/公告日2011-06-15

原文格式PDF
申请/专利权人松下电器产业株式会社;
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申请/专利号CN200780035660.1
发明设计人安藤贵真;是永继博;
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申请日2007-12-13
分类号G01M11/00(20060101);G02B5/18(20060101);
代理机构11021 中科专利商标代理有限责任公司;
代理人李贵亮
地址日本大阪府
入库时间 2022-08-23 09:06:58

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2011-06-15

授权

授权
2010-01-13

实质审查的生效

实质审查的生效
2009-10-07

公开

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