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利用腔内激光光谱测量技术对气体中污染物的超灵敏检测

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利用腔内激光光谱测量技术光学检测浓度低于一个百万分比(ppm)到低于一个太分比(ppb)的在气体如腐蚀性气体中的污染物。采用一个激光器(500)，ILS激光器(500)作为检测器(10)。该ILS激光器(500)包括一块包含在激光器腔(5)中的增益介质(507)。包含气体污染物组分的一种气体样品盛装在一个气体样品盒(406)中，该容器放置在激光器腔(5)中和增益介质(507)的一侧。在待检测的气体组分处于腐蚀性气体的情况下，腐蚀性气体被防止与ILS激光器(500)的元件发生反应。ILS激光器(500)的输出信号被引导和分析以识别气体组分(借助于光谱特征谱线)。从光谱特征谱线还可以确定气体组分的浓度。

著录项

公开/公告号CN1103918C

专利类型发明授权
公开/公告日2003-03-26

原文格式PDF
申请/专利权人创新激光有限公司;
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申请/专利号CN96191258.8
发明设计人 G·H·艾金森;Y·卡列斯基;J·张;M·海尼曼;E·梅迪扎德;M·沃尔帕丁格;
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申请日1996-08-29
分类号G01N21/39;
代理机构72001 中国专利代理(香港)有限公司;
代理人王勇;邹光新
地址美国亚里桑那州
入库时间 2022-08-23 08:55:47

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2005-10-26

专利权的终止未缴年费专利权终止

专利权的终止未缴年费专利权终止
2003-03-26

授权

授权
1997-12-10

实质审查请求的生效

实质审查请求的生效
1997-11-26

公开

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专利
中文文献
外文文献

1. 利用腔内激光光谱测量技术对气体中污染物的超灵敏检测 [P] . 中国专利： CN1103918C . 2003.03.26
2. 利用腔内激光光谱技术进行超灵敏度气体检测的采用二极管激光器泵浦的和具有线性腔的激光器系统 [P] . 中国专利： CN1099028C . 2003.01.15
3. Method and system for the detection of ultra-high sensitivity of contaminants in gases via cavity intracavity laser spectroscopy (ULTRA-SENSITIVE DETECTION OF CONTAMINANTS IN GAS VIA INTRACAVITY LASER SPECTROSCOPY (ILS)) [P] . 韩国专利： KR1019977007434A . 1997-12-01

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5. Ultra-sensitive detection of contaminants in gas via intracavity laser spectroscopy (ils) [P] . AU7104296A . 1997-03-27

机译：通过腔内激光光谱仪（IL）超灵敏地检测气体中的污染物