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用于扩散法制图的组合物

摘要

本发明涉及一种用于扩散制图方法中第一非制图层中的组合物,包括结晶度小于50%、形成膜的酸不稳定性固体聚合物;和酸不稳定聚合物形成固体两相系统的增塑剂;在大气压下加热至120℃或更低温度下能从第一非制图层除去的挥发有机溶剂;聚合物与增塑剂的比率是这样的,即当将挥发有机溶剂从有机介质中除去时,所得的无溶剂的聚合物/增塑剂分散物是镜面不反射的。所述的组合物能以快速、对环境安全的方法制成高分辨率的图像。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2011-03-16

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/77 授权公告日:20020529 终止日期:20091207 申请日:19921106

    专利权的终止

  • 2002-05-29

    授权

    授权

  • 1997-04-23

    公开

    公开

  • 1997-04-02

    实质审查请求的生效

    实质审查请求的生效

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