法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-02-25
专利权有效期届满 IPC(主分类):F17C7/04 授权公告日:20030416 申请日:20000202
专利权的终止
2003-04-16
授权
授权
2003-04-16
授权
授权
2000-08-23
公开
公开
2000-08-23
公开
公开
2000-07-12
实质审查请求的生效
实质审查请求的生效
2000-07-12
实质审查请求的生效
实质审查请求的生效
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机译: 汽化器,使用汽化器进行汽化的汽化器,用于这些汽化器的中心棒或汽化汽化器的汽化器,分散载气的方法和汽化载气的方法
机译: 汽化器,使用该汽化器的MOCVD汽化器,这些汽化器中使用的中心杆,载气分散方法和载气汽化方法
机译: 汽化器的分散装置,使用该汽化器的汽化器以及汽化载气的方法