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微机械器件及设计其的设备和制造其的方法,和微机械系统

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摘要

本发明涉及一种微机械器件，所述微机械器件包括层；形成在层内的至少第一切口，用于限定第一摆动元件，第一摆动元件通过层的第一弹簧部分被可摆动地悬挂；和形成在层内的至少第二切口，用于限定第二摆动元件，第二摆动元件通过层的第二弹簧部分被可摆动地悬挂，其中沟槽在层的主表面中形成在弹簧部分对内，其中第一摆动元件的谐振频率与第二摆动元件的谐振频率不同，并且如此形成第一弹簧部分、第二弹簧部分和沟槽使得在第一弹簧部分和第二弹簧部分的各向异性横向材料移除和/或各向异性横向材料增加的情况下，第二摆动元件的谐振频率的相对变化与第一摆动元件的谐振频率的相对变化的比率范围为从0.8至1.2。

著录项

公开/公告号CN101301991B

专利类型发明专利
公开/公告日2012-03-28

原文格式PDF
申请/专利权人弗劳恩霍夫应用研究促进协会;
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申请/专利号CN200810097065.7
发明设计人托马斯·克劳泽;托马斯·格拉斯霍夫;
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申请日2008-05-12
分类号
代理机构中科专利商标代理有限责任公司;
代理人王新华
地址德国慕尼黑
入库时间 2022-08-23 09:09:11

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2012-03-28

授权

授权
2009-01-07

实质审查的生效

实质审查的生效
2008-11-12

公开

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