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防止离子注入机中因三重接面击穿的不稳定的高压绝缘体

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一种防止离子注入机中因三重接面击穿的不稳定的高压绝缘体。在一实施例中，提供一种防止离子注入机的三重接面不稳定的装置，其具有第一金属电极与第二金属电极。绝缘体设置于第一金属电极与第二金属电极之间。绝缘体在第一金属电极与第二金属电极之间具有至少一表面，所述表面暴露于用于传输离子注入机所产生的离子束的真空之中。第一导电层设置于第一金属电极与绝缘体之间。第一导电层防止发生于第一金属电极、绝缘体与真空之一界面的三重接面击穿。第二导电层相对于第一导电层设置于第二金属电极与绝缘体之间。第二导电层防止发生于第二金属电极、绝缘体与真空之一界面的三重接面击穿。

著录项

公开/公告号CN101689462B

专利类型发明专利
公开/公告日2012-04-11

原文格式PDF
申请/专利权人瓦里安半导体设备公司;
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申请/专利号CN200880021628.2
发明设计人张升吾;法兰克·辛克莱;
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申请日2008-06-13
分类号
代理机构北京同立钧成知识产权代理有限公司;
代理人臧建明
地址美国麻萨诸塞州
入库时间 2022-08-23 09:09:24

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2012-04-11

授权

授权
2010-05-12

实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 23/10 申请日:20080613

实质审查的生效
2010-03-31

公开

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外文文献

1. 防止离子注入机中因三重接面击穿的不稳定的高压绝缘体 [P] . 中国专利： CN101689462B . 2012.04.11
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