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真空系统氦气恒压控制装置及恒压控制方法

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摘要

本发明公开了一种真空系统氦气恒压控制器。该装置利用真空规的测量真空系统中的氦气压强信号，并将该压强信号和设定值比较产生反馈信号，通过该反馈信号调节过滤式氦气微漏阀（下文简称氦漏，见专利CN1479031A）的加热功率，最终使得真空系统的氦气压强达到设定值。该装置及方法具有如下优点:该装置利用真空规直接反馈压强信号，通过该反馈信号控制氦漏加热丝的加热功率，调节氦气的渗透率，实现对注入真空系统中氦气压强的直接控制，不受环境温度、真空泵抽速及氦漏两边氦气压强差变化的影响；该控制器利用脉宽调制实现对氦漏加热功率即氦气渗透率的控制，对注入真空系统中氦气压强具有较高的控制灵敏度。

著录项

  • 公开/公告号CN101968661B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2012-05-23

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 中国科学院武汉物理与数学研究所;

    申请/专利号CN201010291607.1

  • 发明设计人 佘磊;杨玉娜;柳浩;屈万成;李交美;

    申请日2010-09-26

  • 分类号

  • 代理机构武汉荆楚联合知识产权代理有限公司;

  • 代理人王健

  • 地址 430071 湖北省武汉市武昌区小洪山西30号

  • 入库时间 2022-08-23 09:09:52

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2012-05-23

    授权

    授权

  • 2011-03-23

    实质审查的生效 IPC(主分类):G05D 16/20 申请日:20100926

    实质审查的生效

  • 2011-02-09

    公开

    公开

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