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基于柔性测头的超精密原位测量装置及超精密加工方法

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本发明属于本发明属于光学测量和加工技术领域，涉及一种基于柔性测头的超精密原位测量装置，包括柔性测头、传像光纤、耦接镜、高精密转台和光学三维测量系统，所述柔性测头被置于高精密转台上，其中心位于转台的旋转轴的轴线上，柔性测头采集的被测面图像，依次通过传像光纤、耦接镜被传送至光学三维测量系统。本发明同时提供一种利用该测量装置实现的超精密加工方法。本发明的测量装置，可以延长并缩减光学测量系统，并且能够实现大曲率面形的测量和超精密加工补偿。

著录项

公开/公告号CN101797703B

专利类型发明专利
公开/公告日2012-05-23

原文格式PDF
申请/专利权人天津大学;
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申请/专利号CN201010031317.3
发明设计人张效栋;房丰洲;程颖;
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申请日2010-01-07
分类号
代理机构天津市北洋有限责任专利代理事务所;
代理人程毓英
地址 300072 天津市南开区卫津路92号天津大学
入库时间 2022-08-23 09:09:52

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2012-05-23

授权

授权
2010-09-29

实质审查的生效 IPC(主分类):B23Q 17/24 申请日:20100107

实质审查的生效
2010-08-11

公开

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