法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2014-10-01
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01R 1/067 授权公告日:20120620 终止日期:20130809 申请日:20070809
专利权的终止
2012-06-20
授权
授权
2009-10-07
实质审查的生效
实质审查的生效
2009-08-12
公开
公开
机译: 导电性接触件,导电性接触件以及具有导电性接触件的半导体检查装置
机译: 导电性接触器,导电性接触单元以及导电性接触器的制造方法
机译: 导电性接触器,导电性接触单元以及导电性接触器的制造方法