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层叠薄膜及其波形周线控制表面传导电子发射源制作方法

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本发明公开了一种层叠薄膜及其波形周线控制表面传导电子发射源制作方法。该方法采用UV套印光刻、磁控溅射以及薄膜剥离等工艺技术，在玻璃基底上制备带有面内波形边界薄膜的电子发射源阵列。上下薄膜间距通过绝缘层薄膜控制在10～200nm之间，上下薄膜间施加电压实现薄膜间的周线上产生电子遂穿效应，薄膜周线的波形结构可以提高发射源周长，增加电子发射量。

著录项

公开/公告号CN101989520B

专利类型发明专利
公开/公告日2012-07-25

原文格式PDF
申请/专利权人西安交通大学;
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申请/专利号CN201010516898.X
发明设计人刘红忠;丁玉成;陈邦道;樊帆;卢秉恒;
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申请日2010-10-22
分类号H01J9/02(20060101);
代理机构61200 西安通大专利代理有限责任公司;
代理人陆万寿
地址 710049 陕西省西安市咸宁西路28号
入库时间 2022-08-23 09:10:48

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2015-12-16

未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01J 9/02 授权公告日:20120725 终止日期:20141022 申请日:20101022

专利权的终止
2012-07-25

授权

授权
2011-05-04

实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 9/02 申请日:20101022

实质审查的生效
2011-03-23

公开

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