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Surface profile measuring device for measuring the mirror of an imaging optic

机译：用于测量成像光学镜的表面轮廓测量装置

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A surface profile measuring device (15) is used to measure mirrors of an imaging optic. The measuring device has a diffractive optical element (DOE) (16) which generates a test wave front (17). The latter is perpendicular to a target surface profile of a respective useful reflection surface (20) of the mirror. The result is a surface profile measuring device with which a highly precise measurement of the useful reflection surfaces of the mirrors is made possible in a manageable manner.

机译：表面轮廓测量装置（15）用于测量成像光学镜。该测量装置具有衍射光学元件（DOE）（16），该衍射光学元件（DOE）产生测试波前（17）。后者垂直于反射镜的相应的有用反射表面（20）的目标表面轮廓。结果是表面轮廓测量装置，利用该表面轮廓测量装置可以以可管理的方式高精度地测量反射镜的有用反射面。

著录项

公开/公告号DE102019219209A1

专利类型
公开/公告日2020-01-23

原文格式PDF
申请/专利权人 CARL ZEISS SMT GMBH;
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申请/专利号DE201910219209
发明设计人 MICHAEL PATRA;HANS-JÜRGEN ROSTALSKI;
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申请日2019-12-10
分类号G01B11/24;G03F7/20;
国家 DE
入库时间 2022-08-21 11:01:06

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