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Vibration absorber and method for designing a vibration absorber and method for selecting a vibration absorber

机译：减振器和设计减振器的方法以及选择减振器的方法

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The invention relates to a vibration damper (30,70) with a holder (31,54,71), a damping element (34,50,74) and a mass (35), the damping element (34,50,74) holding the holder ( 31,54,71) and the mass (35) connects. The vibration damper (30,70) is designed in such a way that the vibration damper (30,70) effects approximately the same damping in all spatial directions. The invention further relates to a projection exposure system (1) for semiconductor technology with a vibration damper (30,70) according to the invention. The invention also relates to a method for designing a vibration damper (30,70) according to the invention, comprising the following method steps: a) determining the damping properties of the damping element (34,50,74), b) determining the natural frequencies of the vibration damper (34,50,74) in all spatial directions, c) adaptation of the damping element (34,50,74) and / or the mass (35,75), d) repetition of method steps b) and c) until the properties of the vibration damper (30,70) are in the range of The invention further comprises a method for using a vibration damper (30, 70) according to the invention, comprising the following method steps: a) Selection of the component to be damped (44), b) Determination of a suitable location for attaching the vibration absorber (30.70), c) Selection of a vibration absorber (30.70), d) Attaching the vibration absorber (30.70) to the component (44) to be damped, e) determining the damping of the resonance of the component (44), f) repeating method steps c) to e) until a damping value in the range of the specified tolerances is reached.
机译：本发明涉及一种具有支架（31、54、71），阻尼元件（34、50、74）和质量块（35）的减振器（30，70），该阻尼元件（34、50、74）保持架（31,54,71）和质量块（35）相连。减振器（30，70）被设计成使得减振器（30，70）在所有空间方向上产生近似相同的阻尼。本发明还涉及具有根据本发明的减振器（30，70）的用于半导体技术的投影曝光系统（1）。本发明还涉及一种根据本发明的用于设计减振器（30，70）的方法，该方法包括以下方法步骤：a）确定阻尼元件（34，50，74）的阻尼特性，b）确定减振元件（34，50，74）的阻尼特性。减振器（34,50,74）在所有空间方向上的固有频率，c）阻尼元件（34,50,74）和/或质量（35,75）的匹配，d）重复方法步骤b ）和c）直到减振器（30,70）的性能在本发明的范围内。本发明进一步包括一种使用根据本发明的减振器（30，70）的方法，包括以下方法步骤：选择要阻尼的部件（44），b）确定安装减振器（30.70）的合适位置，c）选择减振器（30.70），d）将减振器（30.70）安装到部件（44）待阻尼，e）确定组件（44）共振的阻尼，f）重复方法在步骤c）到e）中，直到达到指定公差范围内的阻尼值为止。

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