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A METHOD FOR AUTOMATICALLY ALIGNING A SCANNING TRANSMISSION ELECTRON MICROSCOPE FOR PRECESSION ELECTRON DIFFRACTION DATA MAPPING

机译:自动校正扫描电子显微数据以进行电子衍射数据映射的方法

摘要

Methods are disclosed for automatically aligning a scanning transmission electron microscope (STEM) for acquisition of precession electron diffraction (PED) mapping data at high spatial resolution.
机译:公开了用于自动对准扫描透射电子显微镜(STEM)以获取高空间分辨率的旋进电子衍射(PED)作图数据的方法。

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