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多結晶シリコンの収容治具および多結晶シリコンの製造方法

机译:多晶硅储存夹具和制造多晶硅的方法

摘要

【課題】CZシリコン単結晶製造用原料に用いられる多結晶シリコンの清浄化工程で用いるに好適なプラスチック製の収容治具の提供。【解決手段】多結晶シリコン塊を収容するプラスチック製の治具として、250℃以上の温度で加熱した際に揮発する成分の濃度をガスクロマトグラフィー質量分析(GC-MS)法で定量した際の揮発成分の総濃度が200ppmw以下であるプラスチックから成る収容治具を用いた場合には、カーボン濃度の低いCZ単結晶シリコンが得られている。なお、ここで、揮発成分の総濃度は、直鎖状テトラデカン(n-C1430)を標準物質として定量された値である。【選択図】なし
机译:解决的问题:提供一种适用于在多晶硅的清洁步骤中使用的塑料制成的存储夹具,该多晶硅用作生产CZ硅单晶的原料。解决方案:作为用于容纳多晶硅块的塑料夹具,通过气相色谱质量分析(GC-MS)方法对在250°C或更高温度下加热时挥发的组分的浓度进行定量。当使用由挥发性成分的总浓度为200ppmw或更小的塑料制成的存储夹具时,获得具有低碳浓度的CZ单晶硅。在此,挥发性成分的总浓度是使用直链十四烷(n-C 14 H 30 )作为标准物质定量的值。[选择图]无

著录项

  • 公开/公告号JP2019043846A

    专利类型

  • 公开/公告日2019-03-22

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 SHIN ETSU CHEM CO LTD;

    申请/专利号JP20180216178

  • 发明设计人 祢津 茂義;宮尾 秀一;船崎 和則;

    申请日2018-11-19

  • 分类号C01B33/035;

  • 国家 JP

  • 入库时间 2022-08-21 12:24:09

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