公开/公告号EP3049870B1
专利类型
公开/公告日2019-05-15
原文格式PDF
申请/专利权人 ASML NETHERLANDS B.V.;
申请/专利号EP20140777038
发明设计人 BANINE VADIM;BARTRAIJ PETRUS;VAN GORKOM RAMON;AMENT LUCAS;DE JAGER PIETER;DE VRIES GOSSE;DONKER RILPHO;ENGELEN WOUTER;FRIJNS OLAV;GRIMMINCK LEONARDUS;KATALENIC ANDELKO;LOOPSTRA ERIK;NIENHUYS HAN-KWANG;NIKIPELOV ANDREY;RENKENS MICHAEL;JANSSEN FRANCISCUS;KRUIZINGA BORGERT;
申请日2014-09-24
分类号G03F7/20;G03F1/84;G02B27;G02B5/18;G02B27/10;G02B27/12;G02B27/14;G02B27/42;H01S3/09;H05H7/04;G01N21/956;G02B27/09;G21K1/06;
国家 EP
入库时间 2022-08-21 12:29:56
