公开/公告号RU2668661C2
专利类型
公开/公告日2018-10-02
原文格式PDF
申请/专利号RU20160142023
发明设计人 KRYUKOV VITALIJ LVOVICH (RU);KRYUKOV EVGENIJ VITALEVICH (RU);STRELCHENKO SERGEJ STANISLAVOVICH (RU);SHASHKIN VLADIMIR IVANOVICH (RU);
申请日2016-10-27
分类号H01L21/208;
国家 RU
入库时间 2022-08-21 12:35:19