首页>
外国专利>
BİR InGaAs/InP KIZILÖTESİ FOTODEDEKTÖR ODAK DÜZLEM DİZİNİ (ODD) YAPISI VE BUNUN FABRİKASYON YÖNTEMİ
BİR InGaAs/InP KIZILÖTESİ FOTODEDEKTÖR ODAK DÜZLEM DİZİNİ (ODD) YAPISI VE BUNUN FABRİKASYON YÖNTEMİ
展开▼
机译:InGaAs / InP红外光电探测器聚焦平面阵列(ODD)的结构及其制备方法
展开▼
页面导航
摘要
著录项
相似文献
摘要
Bu buluş, indiyum galyum arsenik (InGaAs) emilim katmanına sahip fotodedektör odak düzlem dizini (ODD) (Focal Plane Array=FPA) yapısı ile ilgili olup; özellikle özel bir difüzyon derinliğine sahip en az bir çinko (Zn) katkılı p-tipi difüzyon bölgesi (2) içeren ve kuru aşındırma yöntemi ile aynı anda elde edilebilen en az bir n-tipi kontak bölgesi (4) ve okuma devresi ile aradaki bağlantıyı sağlamaya yarayan en az bir n-tipi adacıklanma bölgesi (5) içeren bir InGaAs/InP kızılötesi fotodedektör ODD (100) yapısı ve bunun fabrikasyon yöntemi ile ilgilidir.
展开▼