首页> 外国专利> METHOD FOR CLEANING BONDING INTERFACE BEFORE BONDING

METHOD FOR CLEANING BONDING INTERFACE BEFORE BONDING

机译:粘接前清洁粘接界面的方法

摘要

The present disclosure provides a method for cleaning a bonding interface before bonding. The method includes: providing a first surface and a second surface for bonding, the first surface being a non-crystal surface and the second surface being a crystal surface; and cleaning the first surface and the second surface with ammonia respectively before bonding, wherein at least one of parameters of an ammonia concentration and a cleaning temperature for cleaning the first surface is higher than a counterpart of parameters for cleaning the second surface.
机译:本公开提供了一种在结合之前清洁结合界面的方法。该方法包括:提供第一表面和第二表面用于粘结,第一表面是非晶表面,第二表面是晶体表面;以及第二表面是晶体表面。结合前分别用氨清洁第一表面和第二表面,其中,清洁第一表面的氨浓度和清洁温度中的至少一个参数高于清洁第二表面的参数中的对应一个。

著录项

相似文献

  • 专利
  • 外文文献
  • 中文文献
获取专利

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号