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Thermo-optical array devices and methods of processing thermo-optical array devices

机译:热光阵列装置和处理热光阵列装置的方法

摘要

Thermo-optical array devices and methods of processing thermo-optical array devices are disclosed. One method of processing thermo-optical array devices includes forming a (001) oriented titanium dioxide material on a bolometer material, and forming a vanadium dioxide material on the (001) oriented titanium dioxide material. One thermo-optical array device includes a bolometer material, a titanium dioxide material on the bolometer material, and a vanadium dioxide material on the titanium dioxide material, wherein the vanadium dioxide material has an optical transition temperature of less than 67 degrees Celsius.
机译:公开了热光阵列装置和处理热光阵列装置的方法。一种处理热光阵列器件的方法包括在辐射热计材料上形成(001)取向的二氧化钛材料,以及在(001)取向的二氧化钛材料上形成二氧化钒材料。一种热光阵列装置包括辐射热计材料,辐射热计材料上的二氧化钛材料和二氧化钛材料上的二氧化钒材料,其中二氧化钒材料的光学转变温度小于67摄氏度。

著录项

  • 公开/公告号US9255847B1

    专利类型

  • 公开/公告日2016-02-09

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 HONEYWELL INTERNATIONAL INC.;

    申请/专利号US201514606534

  • 发明设计人 BARRETT E. COLE;

    申请日2015-01-27

  • 分类号G01J5/02;G01J5/20;G01J5/08;H01L31/18;H04N5/357;

  • 国家 US

  • 入库时间 2022-08-21 14:27:54

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