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Suppression of parasitic optical feedback in pulse laser systems

机译:抑制脉冲激光系统中的寄生光反馈

摘要

A pulsed laser system includes a variable attenuator located in a secondary optical path bounded by a target surface and one or more reflective surfaces outside of the primary laser oscillator of the laser system. The variable attenuator isolates an output optical amplifier of the laser system from light reflected from the target during time periods between laser pulses. In some embodiments, the variable attenuator is synchronously controlled with the primary laser oscillator. In some other embodiments, the variable attenuator is controlled separately from the primary laser oscillator to shape the generated laser pulses.
机译:脉冲激光系统包括可变衰减器,该可变衰减器位于由目标表面和位于该激光系统的主激光振荡器外部的一个或多个反射表面所界定的第二光路中。可变衰减器在激光脉冲之间的时间段内将激光系统的输出光放大器与目标反射的光隔离开。在一些实施例中,可变衰减器与初级激光振荡器被同步控制。在一些其他实施例中,与初级激光振荡器分开地控制可变衰减器以成形所产生的激光脉冲。

著录项

  • 公开/公告号US8767291B2

    专利类型

  • 公开/公告日2014-07-01

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 KLA-TENCOR CORPORATION;

    申请/专利号US201313789870

  • 发明设计人 KONSTANTIN TSIGUTKIN;

    申请日2013-03-08

  • 分类号H01S3/106;H01S3/08;H01S3/23;H01S3/117;H01S3/00;H01S3/10;

  • 国家 US

  • 入库时间 2022-08-21 16:01:58

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