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SYSTEM AND METHOD FOR PRODUCING BUBBLE FREE LIQUIDS FOR NANOMETER SCALE SEMICONDUCTOR PROCESSING

机译:生产用于纳米级半导体加工的无气泡液体的系统和方法

摘要

The system for producing a weapon poaek include continuous liquid source and de- bubbling chamber. Di bubbling chamber includes an outlet and inlet . Inlet is coupled to the outlet of the continuous liquid source by a supply pipe . In addition , de- bubbling chamber includes at least one port to the bubbling chamber side wall de . At least one port is an inlet from the length L or more of di- bubbling chamber . In addition , a method for producing an inorganic poaek .
机译:产生武器的系统包括连续的液体源和起泡室。鼓泡室包括出口和入口。入口通过供应管与连续液体源的出口相连。另外,起泡室包括至少一个通向起泡室侧壁de的端口。至少一个端口是从起泡室的长度L或更大处开始的入口。另外,一种生产无机泡沫的方法。

著录项

  • 公开/公告号KR101292841B1

    专利类型

  • 公开/公告日2013-09-03

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人

    申请/专利号KR20077030723

  • 发明设计人 우즈 칼;파버 제프리 제이;

    申请日2006-06-12

  • 分类号B01D19/00;B82Y30/00;

  • 国家 KR

  • 入库时间 2022-08-21 16:24:42

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