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Nanofabrication using dip pen nanolithography and metal oxide chemical vapor deposition

机译:使用浸笔纳米光刻和金属氧化物化学气相沉积的纳米加工

摘要

Fabrication of a semiconductor structure is achieved by using a Dip Pen Nanolithography (DPN) tip to apply a metal catalyst to a prepared substrate. The catalyst is applied in a predetermined pattern, and crystal growth is established at the catalyst site.
机译:半导体结构的制造是通过使用蘸笔纳米光刻(DPN)尖端将金属催化剂施加到准备好的基板上来实现的。以预定图案施加催化剂,并且在催化剂部位建立晶体生长。

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