公开/公告号WO2011052475A1
专利类型
公开/公告日2011-05-05
原文格式PDF
申请/专利权人 NEC CORPORATION;FUKAMI SHUNSUKE;SUZUKI TETSUHIRO;NAGAHARA KIYOKAZU;OHSHIMA NORIKAZU;ISHIWATA NOBUYUKI;
申请/专利号WO2010JP68590
申请日2010-10-21
分类号H01L21/8246;H01L27/105;H01L43/08;
国家 WO
入库时间 2022-08-21 17:57:57