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Scanning probe apparatus with in-situ measurement probe tip cleaning capability

机译:具有原位测量探针尖端清洁能力的扫描探针设备

摘要

A scanning probe apparatus includes a measurement probe tip and an auxiliary probe tip that is movably positionable with respect to the measurement probe tip. The measurement probe tip and the auxiliary probe tip may be positioned juxtaposed, so that an electrical discharge may be effected between the measurement probe tip and auxiliary probe tip to remove a contaminant from the measurement probe tip. The auxiliary probe tip may be integral with a sample support plate within the scanning probe apparatus.
机译:扫描探针装置包括测量探针头和相对于测量探针头可移动地定位的辅助探针头。测量探针尖端和辅助探针尖端可以并列放置,从而可以在测量探针尖端和辅助探针尖端之间进行放电以从测量探针尖端去除污染物。辅助探针尖端可以与扫描探针设备内的样品支撑板成一体。

著录项

  • 公开/公告号US7569112B2

    专利类型

  • 公开/公告日2009-08-04

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 LIN ZHOU;DMITRIY SHNEYDER;

    申请/专利号US20070687033

  • 发明设计人 LIN ZHOU;DMITRIY SHNEYDER;

    申请日2007-03-16

  • 分类号B08B11;B08B6;G12B21;G01N13/10;H01J99;

  • 国家 US

  • 入库时间 2022-08-21 19:30:15

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