机译:测量装置,即偏振测量装置,用于测量例如偏振光的偏振影响特性。双凸透镜,具有检测器和/或光源单元,它们相对于光学组件的对齐方式可以更改
公开/公告号DE102006031006A1
专利类型
公开/公告日2007-11-15
原文格式PDF
申请/专利权人 CARL ZEISS SMT AG;
申请/专利号DE20061031006
申请日2006-07-05
分类号G01N21/21;G01J4;G01J4/04;G01M11/02;
国家 DE
入库时间 2022-08-21 19:49:55