要解决的问题:提供一种用于元素分析预处理的高纯度容器,该容器用于元素分析的预处理,并具有优异的耐热性和耐化学性,例如耐酸性等;提供一种具有优异耐久性的感应耦合等离子体炬,该电感耦合等离子体炬是采用ICP方法的分析系统中使用的感应耦合等离子体炬,从而可以进行精确的元素分析。并提供一种具有等离子炬并使用ICP方法的元素分析系统。
解决方案:用于元素分析预处理的容器是用于通过化学气相沉积(CVD)方法制造的陶瓷容器,用于进行元素分析的预处理。此外,在采用ICP法的元素分析系统中使用的感应耦合等离子体炬至少设置有感应线圈和喷嘴,该喷嘴是通过CVD法制造的陶瓷喷嘴。
版权:(C)2005,JPO&NCIPI
公开/公告号JP4064315B2
专利类型
公开/公告日2008-03-19
原文格式PDF
申请/专利权人 信越化学工業株式会社;
申请/专利号JP20030207994
申请日2003-08-20
分类号G01N1/10;C23C16/34;C23C16/38;C23C16/42;G01N1/28;G01N21/31;G01N21/73;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 20:18:39