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RADIATION-SENSITIVE COMPOSITION CHANGING IN REFRACTIVE INDEX AND METHOD OF CHANGING REFRACTIVE INDEX

机译:折射率变化的辐射敏感成分变化及折射率变化的方法

摘要

A radiation sensitive refractive index changing composition comprising (A) a decomposable compound, (B) a non-decomposable compound having a higher refractive index than the decomposable compound (A), (C) a radiation sensitive decomposer and (D) astabilizer. By exposing this composition to radiation through a pattern mask, the above components (C) and (A) of an exposed portion decompose to create a refractive index difference between the exposed portion and an unexposed portion, thereby forming a pattern having different refractive indices.
机译:辐射敏感性折射率变化组合物,其包含(A)可分解化合物,(B)具有比所述可分解化合物(A)更高的折射率的不可分解化合物,(C)辐射敏感性分解剂和(D)稳定剂。通过使该组合物通过图案掩模暴露于放射线,暴露部分的上述组分(C)和(A)分解以在暴露部分和未暴露部分之间产生折射率差,从而形成具有不同折射率的图案。

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