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3D optical metrology method in which a structured pattern is generated on an object surface and resultant virtual pixels measured with a white-light interferogram

机译：3D光学计量方法，其中在对象表面上生成结构化图案，并使用白光干涉图测量所得的虚拟像素

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摘要

Optical measurement method in which a structured light pattern is generated on the surface of an object to be measured either by interference or imaging of a grating on the surface. Surface definition measurements are then undertaken. An independent claim is made for an optical sensor for 3D measurement of the profile of an object whereby a signal is generated with virtual pixels in the form of a white-light interferogram.

机译：一种光学测量方法，其中通过干涉或对表面上的光栅进行成像，在要测量的对象的表面上生成结构化的光图案。然后进行表面清晰度测量。对于用于3D测量物体轮廓的光学传感器提出了独立的权利要求，由此利用白光干涉图形式的虚拟像素生成信号。

著录项

公开/公告号DE10321888A1

专利类型
公开/公告日2004-12-02

原文格式PDF
申请/专利权人 UNIVERSITAET STUTTGART;
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申请/专利号DE2003121888
发明设计人 KOERNER KLAUS;OSTEN WOLFGANG;
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申请日2003-05-07
分类号G01B11/24;G01B9/02;G01B11/30;G01M11/00;
国家 DE
入库时间 2022-08-21 22:01:27

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