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SURFACE STRUCTURES FOR HALO REDUCTION IN ELECTRON BOMBARDED DEVICES

机译:电子封装设备中光晕还原的表面结构

摘要

An electron sensing device includes a cathode (6, 50) for providing a source of electrons, and an anode (8, 80, 83, 86, 89) disposed opposite to the cathode for receiving electrons emitted from the cathode. The anode includes a textured surface for reducing halo in the output signal of the electron sensing device. The textured surface may include either pits (85) or inverted pyramids (87).
机译:电子感测装置包括用于提供电子源的阴极(6、50)和与阴极相对设置的阳极(8、80、83、86、89),用于接收从阴极发射的电子。阳极包括用于减少电子感测装置的输出信号中的光晕的纹理化表面。带纹理的表面可以包括凹坑(85)或倒金字塔(87)。

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