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Semiconductor disc handling device using combined Bernoulli effect and suction effect for retention of semiconductor disc

机译：结合了伯努利效应和吸力效应的半导体盘处理装置，用于保持半导体盘

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The handling device (1) has a pneumatically operated holder providing hydrodynamic retention forces for a semiconductor disc, a centre (3), having jet bores (5) around the outside of a suction pad (6) with suction bores (6a), provided by a reception device (4) supported by the handling device for rotation about its central axis, via an associated drive.

机译：操纵装置（1）具有为半导体圆盘提供流体动力保持力的气动保持器，中心（3），中心具有围绕抽吸垫（6）的外侧的喷射孔（5），该喷射孔具有抽吸孔（6a）。通过由操纵装置支撑的接收装置（4）通过相关联的驱动器绕其中心轴旋转。

著录项

公开/公告号DE10304425B3

专利类型
公开/公告日2004-08-05

原文格式PDF
申请/专利权人 INFINEON TECHNOLOGIES AG;
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申请/专利号DE2003104425
发明设计人 MICHENTHALER NORBERT;BINDER ALFRED;PUCHER GERHARD;AIGNER KURT;MATSCHITSCH MARTIN;KROUPA GERHARD;
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申请日2003-02-04
分类号B25J15/06;H01L21/68;
国家 DE
入库时间 2022-08-21 22:43:30

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